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para un aficionado a los semiconductores, un wafer contaminado presenta un misterio por resolver, puede haber cualquier número de causas, pero esta se esconde a simple vista, un filtro de gas procesado contaminado que se degradó silenciosamente con el tiempo. Cuando los filtros nuevos atrapaban efectivamente pequeñas partículas en los gases procesados a través de una combinación de fuerzas, sin embargo, los filtros tienen una vida útil finita. A medida que las partículas se acumulan con el tiempo, los pasajes dentro del filtro se vuelven restringidos. Esto aumenta la presión diferencial, lo que puede afectar la tasa de flujo de gas. Debido a que se ha mantenido una tasa de flujo constante, el sistema no percibe riesgo. Sin embargo, una presión aumentada significa una mayor velocidad del gas, lo que puede llevar a que partículas previamente atrapadas sean liberadas de nuevo en la corriente de gas. Si estas partículas pasan al wafer, contaminan el wafer y pueden resultar en defectos costosos. Afortunadamente, hay una solución. Durante su próxima revisión de mantenimiento programada, si sus filtros de gas también deben ser reemplazados, elimine esa variable de su mys
